[9p-PB3-1~28] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[9p-PB3-16] Fabrication of Color Microlens Array Based on Electrodeposition using Photoresist

〇Yusuke Kanaoka¹, Yusuke Sando¹, Kazuo Satoh¹, Kengo Nakayama¹, Shuichi Murakami¹, Yoshiaki Sakurai¹ (1.ORIST)

Keywords:electrodeposition, microlens

これまでに、顔料を分散させたポリマー電着およびポリシランの感光特性を利用することにより、カラーマイクロレンズを作製してきた。しかしながら、この方法は、感光部のポリシランを除去しないため、レンズにポリシランと電着ポリマーが混在するという課題があった。そこで本研究では、感光部を除去できるポジ型のフォトレジストを用いた新たなカラーマイクロレンズの作製方法について検討した。