[9p-PB6-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[9p-PB6-10] SiNx/Si構造の電気特性におけるファイヤースルー処理の影響（III)

〇高見 建也¹、堀川 裕貴¹、森 英喜¹、吉田 晴彦¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：太陽電池、パッシベーション

太陽電池製造工程におけるファイヤースルー処理の高温プロセスにより、パッシベーション膜の電気特性が劣化する可能性が懸念されている。本研究では、パッシベーション膜の特性改善を図るため、新たな焼成パターンとして、ファイヤースルー処理後の冷却過程中に、一定温度の低温アニール処理を施す方法について検討した。