[9p-S011-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-S011-10] X線トポグラフによるβ-Ga₂O₃基板の転位評価

〇中居 克彦¹、野網 健悟¹、二木 登史郎¹、大葉 悦子²、干川 圭吾³ (1.日鉄住金テクノロジー、2.不二越機械工業、3.信州大学)

キーワード：酸化ガリウム、X線トポグラフ、転位

β-Ga2O3結晶中の結晶欠陥としては、<010>に平行なバーガースベクトルを持つらせん転位、中空スリット状欠陥(ナノパイプ)、の二種類が知られている。今回我々はX線トポグラフにより、従来知られていたものとは異なる<001>に平行なバーガースベクトルを持つ転位を新たに見出した。