[9p-S011-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-S011-11] シンクロトロンX線トポグラフィーによる垂直ブリッジマン成長β-Ga₂O₃単結晶の欠陥の観察

〇桝谷 聡士¹、佐々木 公平^2,3、倉又 朗人^2,3、小林 拓実⁴、干川 圭吾⁵、上田 修⁶、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.タムラ製作所、4.不二越機械工業、5.信州大、6.金沢工大)

キーワード：酸化ガリウム、X線トポグラフィー