[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [9p-W323-10] シミュレーションによる二周波重畳容量結合プラズマの基本特性解析

〇(D)森山 誠¹、三矢 晶洋¹、中原 尚哉¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝¹ (1.名大工)

キーワード：二周波重畳容量結合プラズマ、有限要素法シミュレーション、COMSOL Multiphysics

近年，数値解析アルゴリズムの最適化が進み，また高性能なPCが安価で入手できることから，プラズマ生成シミュレーションが広く行われるようになった。当研究室では，今年度からエッチングプロセスで用いられる二周波重畳容量結合プラズマ(DF-CCP)の基礎特性を解明する研究に着手しており，シース構造など理解をより深めるためシミュレーションによるDF-CCPの再現を試みている。本発表では，DF-CCPの数値解析結果について報告する。