[9p-W371-1~16] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

△ [9p-W371-1] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ構造が及ぼす熱伝導特性評価

〇(B)竹内 悠希¹、横川 凌^1,2、高橋 和也³、小森 克彦³、森本 保³、澤本 直美¹、小椋 厚志¹ (1.明治大理工、2.学振特別研究員DC、3.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ(株))

キーワード：半導体、熱電材料