[9p-W371-1~16] 22.1 Joint Session M "Phonon Engineering"

△ [9p-W371-2] Evaluation of Thermal Properties near Si Nanowire Covered with Oxide Film by Raman Spectroscopy

〇Ryo Yokogawa^1,2, Motohiro Tomita^1,3, Takanobu Watanabe³, Atsushi Ogura¹ (1.Meiji Univ., 2.JSPS Research Fellow DC, 3.Waseda Univ.)

Keywords:Raman spectroscopy, Si nanowire

Siナノワイヤは熱伝導率が大幅に低下することが明らかにされ、その要因は酸化膜/Si界面に局在する無秩序な振動状態が関与していることが報告されている。我々はラマンによる熱特性評価を試み酸化膜を被覆したSiナノワイヤを用いて熱伝導がどのように変化するかレーザパワー依存性により詳細に分析した。