[9p-W834-1~12] 1.6 超音波

△ [9p-W834-7] 溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製

〇白 寧蕊^1,2、唐澤 嶺^1,2、高柳 真司⁴、今川 誠⁵、森坂 啓介⁵、鈴木 雄⁵、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早稲田大学、2.材研、3.JSTさきがけ、4.名古屋工業大学、5.株式会社フルヤ金属)

キーワード：ScAlN、圧電薄膜

アーク溶融合金ターゲット、焼結合金ターゲットおよびSc粒を用いて、スパッタ法で3種類のScAlN薄膜を作製し、結晶性と圧電性を評価した。​アーク溶融合金、焼結合金、Sc粒で作製した薄膜のk_t²はそれぞれ22.0%、20.1％、14.7%であった。​アーク溶融合金と焼結合金ターゲットで成膜したScAlN薄膜は、従来のSc粒を使ったものに比べてk_t²が高い値となった。また、焼結合金とアーク溶融合金は同じ程度のk_t²値となった。