16:00 〜 16:15 [9p-Z26-12] ナノ人工物メトリクスのためのナノ構造埋込Si MOSFETの試作と評価 〇水野 慎太郎1、呂 任鵬1、清水 克真1、殷 翔1、上羽 陽介2、石川 幹雄2、北村 満2、法元 盛久3、葛西 誠也1 (1.北大量集センター、2.大日本印刷、3.産総研)