09:15 〜 09:30
〇田中 宏幸1、新堀 俊一郎2,3、岩瀬 千克2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.三友製作所)
田中 宏幸
発表者・著者、共著者
2020年9月9日(水) 08:30 〜 11:30 Z10
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年9月9日(水) 08:30 〜 11:30 Z10
09:15 〜 09:30
〇田中 宏幸1、新堀 俊一郎2,3、岩瀬 千克2,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.三友製作所)