09:00 〜 09:15 [10a-Z24-2] ALD法を用いて作成したSi直上Al:HfO2準安定相の結晶化過程 〇宝栄 周弥1、桐谷 乃輔1、吉村 武1、芦田 淳1、藤村 紀文1 (1.阪府大院工)