11:15 〜 11:30 [11a-Z23-9] 光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたSiCウェハ内部の熱拡散過程の可視化 〇藤本 渓也1、小柳 樹2、水川 友里1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先進理工、2.広大院先端研)