10:30 〜 10:45 [9a-Z10-8] ミニマルファブを用いたTiNゲートSOI-CMOSのVth制御 〇小粥 敬成1、古賀 和博1、浜本 毅司1、野田 周一2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)