13:30 〜 13:45 [11p-Z02-3] GaInN/GaN成長時の格子緩和に対するSiアンチサーファクタントの効果 〇横山 晴香1、山口 智広1、佐々木 拓生2、大野 颯一朗1、木口 賢紀3、比留川 大輝1、藤川 誠司2、高橋 正光2、尾沼 猛儀1、本田 徹1 (1.工学院大、2.量研、3.東北大)