09:15 〜 09:30 [10a-Z20-2] HEATE法によるZnO単結晶のエッチング特性評価とナノ構造の作製 〇伊藤 大智1、森谷 裕太1、菊池 昭彦1,2,3 (1.上智大・理工、2.上智大フォトニクス研究センター、3.上智大半導体研究所)