14:00 〜 14:15 [10p-Z04-5] 界面光顕微応答法によるゲートリセスPECエッチングしたAlGaN/GaN HEMT構造の二次元評価 〇川角 優斗1、堀切 文正2、福原 昇2、塩島 謙次1 (1.福井大院工、2.(株)サイオクス)