09:15 〜 09:30 [9a-Z05-1] NdF3薄膜を用いた真空紫外センサの真空アニールによる暗電流値制御 〇堀内 勇佑1、加藤 誠也1、加藤 智規1、加瀬 征彦2、小野 晋吾1 (1.名工大、2.ウシオ電機)