[10a-Z03-1~8] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[10a-Z03-1] Generation of powder from liquid raw material using atmospheric pressure plasma

Momoyo Takahashi¹, Youki Ohkubo¹, Takayuki Kitagawa¹, Kazuyuki Noborio¹, 〇Kohshi Taguchi^1,2 (1.Sakigake-S Co., Ltd., 2.Checkers Co., Ltd.)

Keywords:Atmospheric Plasma, Generation of powder

現在、シリカ等の微粒粉体の生成はインゴットの破砕処理による手法が主流となっている。今回、我々はプラズマを用いて微粒子を直接合成する新技術を開発した。