[10a-Z03-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[10a-Z03-1] 大気圧プラズマを用いた液体原料からの粉体生成

高橋 桃世¹、大久保 勇毅¹、北川 貴之¹、登尾 一幸¹、〇田口 貢士^1,2 (1.魁半導体、2.チェッカーズ)

キーワード：大気圧プラズマ, 粉体生成

現在、シリカ等の微粒粉体の生成はインゴットの破砕処理による手法が主流となっている。今回、我々はプラズマを用いて微粒子を直接合成する新技術を開発した。