[10a-Z03-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[10a-Z03-2] 真空プラズマ技術を用いたフッ素樹脂の表面改質の反応メカニズム

〇植野 伸哉¹、登尾 一幸²、田口 貢士^1,2 (1.チェッカーズ、2.魁半導体)

キーワード：プラズマ, フッ素樹脂, メカニズム

フッ素樹脂はその化学的な安定性から、半導体や医療機器など様々な産業で用いられている。しかしながら、その安定性故に塗装や接着が非常に困難であることも広く知られている。従来はナトリウムナフタレン錯体などの薬品を用いて表面処理を行っていたが、これは劇薬であり、廃液処理を必要とする。また、その処理は樹脂表面の変色を伴うものであり、最終目的によっては適用が難しいこともあった。プラズマ技術はドライの表面改質技術として様々な産業で使われており、フッ素樹脂に対しても様々なアプローチでの改質を実現してきた。今回はその反応メカニズムを明らかにする。