[10a-Z03-1~8] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[10a-Z03-4] 金ナノ粒子プラズモンによるグラフェンのラジカル窒化促進

〇佐藤 銀河¹、北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防衛大)

キーワード：プラズマ, 窒化, 金ナノ粒子

金ナノ粒子の触媒作用に注目し、グラフェン表面のラジカル照射による窒化および金ナノ粒子触媒のプラズモン効果による窒化の促進とグラフェン表面の低ダメージの窒化プロセスを検討している。試料は高真空チャンバー内で電子ビーム蒸着により金ナノ粒子を付着させ、プラズマチャンバー内で窒化のプロセスを実施した。評価にはＸＰＳによる組成分析、ラマン分光による成分比分析、ＡＦＭによる表面分析を実施した。