[10a-Z10-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10a-Z10-8] ミニマルコータを用いた厚膜レジストの塗布プロセスの検討

〇中道 修平¹、田中 宏幸²、居村 史人²、野田 周一²、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)

キーワード：ミニマルファブ, フォトレジスト, スピンコータ