[10p-Z05-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [10p-Z05-10] 各層でスパッタガスを変えて作製したAl/Ag膜の特性評価

〇大原 優作¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹、金 敬鎬¹ (1.北見工大)

キーワード：Ag薄膜, Al/Ag膜

我々は、Ag 膜に Al 極薄表面層を積層させた Al/Ag 膜の高温・高湿度下での凝集耐性を報 告してきている。これまで、両層を全て Arまたは Krの単一のガスを用いてスパッタ成膜してきたが、ガスとターゲット金属の質量比を考慮すると各層を最適なガスで成膜することにより、より優れた物性が得られる可能性がある。そこで本研究では、各層でスパッタガスを変えて作製したAl/Ag 膜の特性を調査した。