[10p-Z10-1~17] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[10p-Z10-11] Development of long term stable platinum microheater

〇Yurina Amamoto¹, Akasaka Shunsuke^1,2, Kanno Isaku² (1.ROHM, 2.Kobe Univ.)

Keywords:microheater

高性能・低消費電力の小型酸素・湿度センサの 実現に向け、薄膜 YSZ を用いた 限界電流式 酸素・湿度センサの開発を進めている。この方式では、センサ駆動のために 素子を 500 ℃以上に加熱する必要がある。 本研究では、低消費電力で 500 ℃以上に昇温できる小型で安定なMEMS型マイクロヒーターを開発した。