[11a-Z23-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [11a-Z23-2] 衝突イオン化係数のバンド構造に対する依存性の理論的解析

〇田中 一^1,2、木本 恒暢¹、森 伸也² (1.京大、2.阪大院工)

キーワード：炭化ケイ素, 窒化ガリウム, 衝突イオン化