Surface fluorination of Y2O3 irradiated by low energy CF3+ ion and F+ ion

Hojun Kang; Tomoko Ito; Junghwan Um; Hikaru Kokura; Taekyun Kang; Sungil Cho; Hyunjung Park; Kazuhiro Karahashi; Satoshi Hamaguchi

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8 プラズマエレクトロニクス » 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[11p-Z03-3~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2020年9月11日(金) 13:30 〜 16:15 Z03

石川健治(名大)、佐竹真(日立)

14:30 〜 14:45

▼ [11p-Z03-7] Surface fluorination of Y₂O₃ irradiated by low energy CF₃⁺ ion and F⁺ ion

〇(M2)Hojun Kang¹、Tomoko Ito¹、Junghwan Um²、Hikaru Kokura²、Taekyun Kang²、Sungil Cho²、Hyunjung Park²、Kazuhiro Karahashi¹、Satoshi Hamaguchi¹ (1.Osaka Univ.、2.Samsung Electronics)

キーワード：Yttria, fluorination

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▼ [11p-Z03-7] Surface fluorination of Y2O3 irradiated by low energy CF3+ ion and F+ ion

▼ [11p-Z03-7] Surface fluorination of Y₂O₃ irradiated by low energy CF₃⁺ ion and F⁺ ion