[11p-Z05-1~15] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[11p-Z05-14] 負イオン照射装置における磁気フィルターの効果検証

〇(M1)田中 達也¹、藤本 佑弥¹、比村 治彦¹、三瓶 明希夫¹ (1.京工繊大電子)

キーワード：磁気フィルター, 負イオン, 電子温度

エネルギーが揃えられた負イオンを用いる新しいナノプロセスを実験的に検証するために制作した装置では、負イオン生成のために磁気フィルターを用いている。アスペクト比とガス種の異なるイオン源において、磁気フィルターの上流側と下流側で負イオン生成に必要な電子温度2温度領域の形成を確認しようとしている。また、磁気フィルターに用いている磁場強度と負イオンの生成効率の関係を明らかにしようとしている。