[8a-Z05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-Z05-4] 原子状水素による2種類のDLC膜のエッチング速度

〇部家 彰¹、新部 正人²、原田 哲男²、赤坂 大樹³、神田 一浩²、渡邊 健夫²、住友 弘二¹ (1.兵庫県立大工、2.兵庫県立大高度研、3.東工大工)

キーワード：原子状水素, 表面汚染物, アモルファスカーボン

EUVリソグラフィー装置の光学系ミラーの表面汚染物と原子状水素との反応を明らかにし、AHA法の条件最適化を図るためモデル物質を探索するため、2種類のDLC膜の除去速度を評価した。水素含有量が多いP-CVD-a-C:H の方がエッチング速度は速く、Niミラー上の汚染物のエッチング速度（0.1 nm/min）に近かった。一方、FCVA-a-C膜では60 minまでの処理では段差がほとんど観測されなかった。