[8a-Z05-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-Z05-8] C₆系有機化合物-N₂混合気体高周波プラズマを用いた 高窒素含有 a-CN_x:H 薄膜の作製と構造解析

〇家老 克徳¹、伊藤 治彦¹、斎藤 秀俊¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：プラズマCVD, アモルファス窒化炭素

C₆系有機化合物と窒素ガスの混合気体で高周波プラズマCVDを用いて、アモルファスな窒化炭素薄膜を作製する。
作製した薄膜は、XPSやFT-IRを用いた化学結合状態の解析やインデンテーション試験による硬さ評価を行い薄膜を分析する。