[8p-Z05-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

[8p-Z05-6] Ir(001)/MgO(001)基板上に成長したヘテロエピタキシャルダイヤモンドの初期成長の表面観察と配向評価

〇木村 豊¹、大内 貴矢²、會田 英雄²、大島 龍司^2,3、澤邊 厚仁¹ (1.青学大理工、2.長岡技科大、3.ディスコ)

キーワード：ダイヤモンド薄膜, ヘテロエピタキシー