[9a-Z02-1~8] 15.4 III-V族窒化物結晶

[9a-Z02-3] N面AlNの表面平坦性の改善とMQWからの深紫外発光

〇坂本 凌太¹、安高 和哉¹、伊藤 忠寿¹、姚 永昭²、石川 由加里²、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院・創成科学、2.ファインセラミックスセンター)

キーワード：N極性面AlN, 光デバイス, 紫外LED