[9a-Z20-1~11] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

△ [9a-Z20-9] Evaluation of DUV Photoluminescence Lifetime in Rocksalt-structured MgZnO Films

〇Kanta Kudo¹, Kyohei Ishii², Mizuki Ono¹, Kentaro Kaneko², Tomohiro Yamaguchi¹, Kohei Shima³, Kazunobu Kojima³, Shizuo Fujita², Tohru Honda¹, Shigefusa Chichibu³, Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ., 2.Kyoto Univ., 3.IMRAM-Tohoku Univ.)

Keywords:MgZnO, TRPL, DUV

深紫外線（DUV）や真空紫外線(VUV)は殺菌や光化学などへ利用されている。固体ベースの発光材料として、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛（RS-Mg_xZn_1-xO）に注目している。これまでに、ミストCVD法を用いて酸化マグネシウムモル分率x>0.5のRS-Mg_xZn_1-xO薄膜を成膜し、CL測定によるDUV、VUV領域での発光を観測した。本研究では、RS-Mg_xZn_1-xOの時間分解フォトルミネッセンス（TRPL）分光によりPL寿命を観測したため、発光特性改善の観点から報告する。