[9a-Z25-6~7] 7.2 Applications and technologies of electron beams

△ [9a-Z25-7] Measurement of virtual source diameter of a filed emission electron source

〇Erina Kawamoto¹, Soichiro Matsunaga^1,2 (1.Hitachi, Ltd., 2.Hitachi High-Tech)

Keywords:scanning electron microscope, electron source, brightness

電子源の重要な特性の一つに輝度がある。輝度を算出するには電子線の光源の大きさ（光源径）を計測する必要がある。一般的に電界放出電子源の光源径は数十nmと小さいため、光源を拡大投影し計測が行われる。この時に重要なのは拡大率の設定精度である。本研究では2段のレンズで拡大し、1段目のレンズがつくる中間像面の位置を調整することで、拡大率の誤差が5％以下の高い信頼性をもつ光源径計測装置を開発した。