The 81st JSAP Autumn Meeting, 2020

Presentation information

Oral presentation

7 Beam Technology and Nanofabrication » 7.2 Applications and technologies of electron beams

[9a-Z25-6~7] 7.2 Applications and technologies of electron beams

Wed. Sep 9, 2020 10:30 AM - 11:00 AM Z25

Mitsunori Kitta(AIST), Takashi Kawakubo(Natl. Inst. of Tech., Kagawa College)

10:45 AM - 11:00 AM

[9a-Z25-7] Measurement of virtual source diameter of a filed emission electron source

Erina Kawamoto1, Soichiro Matsunaga1,2 (1.Hitachi, Ltd., 2.Hitachi High-Tech)

Keywords:scanning electron microscope, electron source, brightness

電子源の重要な特性の一つに輝度がある。輝度を算出するには電子線の光源の大きさ(光源径)を計測する必要がある。一般的に電界放出電子源の光源径は数十nmと小さいため、光源を拡大投影し計測が行われる。この時に重要なのは拡大率の設定精度である。本研究では2段のレンズで拡大し、1段目のレンズがつくる中間像面の位置を調整することで、拡大率の誤差が5%以下の高い信頼性をもつ光源径計測装置を開発した。