[9p-Z05-1~14] 【CS.6】6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[9p-Z05-12] ヘリウムプラズマ誘起タングステン巨大ナノ構造形成とアニーリング効果

〇(M2)奥山 樹¹、梶田 信²、吉田 直亮³、田中 宏彦¹、大野 哲靖¹ (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)

キーワード：ヘリウムプラズマ, ファズ, アニーリング

金属材料へのヘリウムプラズマ照射により、金属材料の表面に繊維状のナノ構造が形成することが確認されている。さらに、金属材料へのヘリウムプラズマと金属イオンの同時照射によって、ミリメートルサイズの巨大な繊維状ナノ構造が形成することが近年明らかになった。本研究では巨大繊維状ナノ構造の形成メカニズムを解明するために、アニーリング効果を調査する。