[9p-Z20-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-Z20-6] HVPE成長β型酸化ガリウムエピ層中の積層欠陥の観察

〇嘉数 誠¹、スダーン セイリープ¹、佐々木 公平²、桝谷 聡士²、川崎 克己³、平林 潤³、倉又 朗人² (1.佐賀大院工、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.TDK（株）)

キーワード：酸化ガリウム, X線トポグラフィー

HVPE 成長b-Ga₂O₃で特徴的な積層欠陥が見出された。