[9p-Z24-1~14] 【CS.7】 7.4 量子ビーム界面構造計測と9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[9p-Z24-8] 4D-XPS法による多層積層膜に埋もれた界面反応可視化の逆解析シミュレーション検証

〇豊田 智史¹、山本 知樹²、吉村 真史³、住田 弘祐⁴、三根生 晋⁴、町田 雅武⁵、吉越 章隆⁶、鈴木 哲²、横山 和司²、大橋 雄二¹、黒澤 俊介¹、鎌田 圭¹、佐藤 浩樹¹、山路 晃広¹、吉野 将生⁷、花田 貴⁷、横田 有為⁷、吉川 彰⁷ (1.東北大NICHe、2.兵庫県大、3.SP8サービス、4.マツダ、5.シエンタオミクロン、6.原子力機構、7.東北大金研)

キーワード：X線光電子分光