[9p-Z29-1~17] 17.2 Graphene

[9p-Z29-10] High-order mode operation of graphene mechanical resonator

〇(M2)Hirofumi Ikemoto¹, Kaito Nakagawa¹, Taichi Inoue¹, Kuniharu Takei¹, Takayuki Arie¹, Seiji Akita¹ (1.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:mechanical resonator, graphene, High-order mode operation

前回、グラフェン機械共振器(G-MR)の高いQ値を実現するために、G-MRの小型化が有用であることを報告した。今回は、ナノ電気機械グラフェン共振器(G-NEMR)のモード結合に注目し、金属のローカルゲート構造を有した架橋G-NEMRの高次モード振動についての報告を行う。