廣田良浩

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発表者・著者、共著者

2020年3月14日(土) 13:30 〜 15:30 A401 (6-401)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| 機能性酸化物のメモリデバイス応用とその物理解明に向けて

[14p-A401-1~4] 機能性酸化物のメモリデバイス応用とその物理解明に向けて

13:30 〜 14:00

[14p-A401-1] DRAM の微細化トレンドと機能性酸化物プロセス技術

〇廣田良浩¹ (1.東京エレクトロン㈱)