13:45 〜 14:00 △ [12p-B401-3] NH3/H2雰囲気下で選択エッチングしたN極性AlGaN/GaNヘテロ構造の評価 〇吉屋 佑樹1、星 拓也1、杉山 弘樹1、松崎 秀昭1 (1.NTT先端集積デバイス研)