16:00 〜 16:15 [12p-A205-9] 高アスペクト比加工に向けたフルオロカーボン系活性種のエッチングへの影響評価 〇谷田 知史1、飯野 大輝1、久保井 宗一1、栗原 一彰1、福水 裕之1 (1.キオクシア)