09:30 〜 11:30 △ [13a-PA3-4] ダイヤモンドデバイス応用に向けたALD-Al2O3の膜質改善 〇作場 宥斗1、藤井 茉美1、唐木 祐馬1、上沼 睦典1、高橋 清2、石河 泰明1、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.日本アルキルアルミ)