14:00 〜 14:15 [15p-D411-2] 高濃度リンドープCZ-Si結晶における As grown SiPの形成機構 〇中村 浩三1、仙田 剛士2、成松 真吾2、前田 進2 (1.岡山県大、2.グローバルウェーハズ・ジャパン)