16:00 〜 18:00 [13p-PA9-7] CF4プラズマ処理したp型GaNの電気的ダメージ評価 〇中野 由崇1、豊留 彬1、新部 正人2、川上 烈生3 (1.中部大工、2.兵庫県立大高度研、3.徳島大院工)