16:30 〜 16:45 [13p-A305-9] 酸化濃縮法により作製した圧縮ひずみ(110)面SiGe-OI pMOSFET 曺 光元1、トープラサートポン カシディット1、竹中 充1、〇高木 信一1 (1.東大院工)
16:45 〜 17:00 [13p-A305-10] 酸化濃縮法により作製したGOIを用いた引張りひずみGOI nMOSFET 曺 光元1、林 澈敏1、トープラサートポン カシディット1、竹中 充1、〇高木 信一1 (1.東大院工)
17:00 〜 17:15 [13p-A305-11] (001)GOI薄膜化によるnMOSFETの電子移動度向上機構に関する考察 〇高木 信一1、曺 光元1、林 澈敏1、トープラサートポン カシディット1、竹中 充1 (1.東大院工)