14:00 〜 14:15 [12p-A205-2] Ar/CH4プラズマCVDモデルにおけるAr混合比がDLC膜表面および水素含有率に及ぼす影響の解析 〇(M2)小川 慎1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3 (1.千葉工大工、2.名城大理工、3.岐阜大工)