09:30 〜 11:30 [13a-PA6-11] 界面顕微光応答法によるp-4H-SiCウエハー上ショットキー電極の2次元評価 〇塩島 謙次1、Nabilah Fatin1、松田 稜1、加藤 正史2 (1.福井大院工、2.名工大)