09:30 〜 11:30 [13a-PA1-13] CF4ガスからプラズマ合成されたC2F4ガスの分離濃縮技術の検討 〇大参 宏昌1、田中 領1、中塚 宏学1、飯野 大輝2、栗原 一彰2、福水 裕之2、福原 成太2、林 久貴2、垣内 弘章1、安武 潔1 (1.阪大院工、2.キオクシア(株))