15:45 〜 16:00
〇(B)倉重 貴行1、妹川 要1,2、中村 大輔1、佐道 泰造1、後藤 哲也3、池上 浩1,2 (1.九大、2.九大ギガフォトン共同部門、3.東北大未来研)
倉重 貴行
発表者・著者、共著者
2020年3月15日(日) 13:45 〜 16:30 A305 (6-305)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年3月15日(日) 13:45 〜 16:30 A305 (6-305)
15:45 〜 16:00
〇(B)倉重 貴行1、妹川 要1,2、中村 大輔1、佐道 泰造1、後藤 哲也3、池上 浩1,2 (1.九大、2.九大ギガフォトン共同部門、3.東北大未来研)