09:30 〜 11:30 [15a-PB2-11] 異なる希釈ガスを用いたRF 低圧テトラメチルシランプラズマにおける電極への入射ラジカルの質量分析 〇渡邉 泰章1、鈴木 駿2、石井 晃一2、小田 昭紀2、太田 貴之3、上坂 裕之4 (1.イノベーションサイエンス、2.千葉工大、3.名城大、4.岐阜大)